Bahan Kimia untuk Proses Semikonduktor

Pembuatan semikonduktor sebahagian besarnya adalah proses yang berkaitan dengan kimia, dengan sehingga 20% daripada langkah-langkah proses adalah pembersihan dan penyediaan permukaan wafer:

Kami biasa merujuk kepada bahan kimia yang digunakan dalam fabrikasi wafer sebagai bahan kimia proses, yang terdapat dalam bentuk kimia yang berbeza (cecair dan gas) dan dikawal ketat dalam ketulenan.Fungsi utama bahan kimia proses ini adalah seperti berikut:

Bersihkan permukaan wafer dengan larutan kimia basah dan air ultratulen;

Doping wafer silikon dengan ion bertenaga tinggi untuk mendapatkan bahan silikon jenis P atau N;

Pemendapan lapisan konduktor logam yang berbeza dan lapisan dielektrik yang diperlukan antara lapisan konduktor;

Hasilkan lapisan SiO2 nipis sebagai bahan dielektrik pintu utama peranti MOS;

Gunakan etsa atau reagen basah yang dipertingkatkan plasma untuk mengeluarkan bahan secara selektif dan membentuk corak yang diingini pada filem;

Reagen ketulenan tinggi cecair dikelaskan kepada tiga gred: UP-S, UP, dan EL mengikut ketulenannya, dan EL dibahagikan lagi kepada:

Elektronik gred 1 (EL-Ⅰ)
mempunyai kandungan kekotoran logam 100–1000 PPb, yang bersamaan dengan standard SEMI C1 C2;

Elektronik gred 2 (EL-Ⅱ)
kandungan kekotoran logamnya ialah 10-100 PPb, bersamaan dengan standard SEMI C7;

Elektronik gred 3 (EL-Ⅲ)
mempunyai kandungan kekotoran logam 1–10 PPb, yang bersamaan dengan standard SEMI C7;

Elektronik gred 4 (EL-IV)
mempunyai kandungan kekotoran logam 0.1–1PPb, yang bersamaan dengan standard SEMI C8;

Reagen ultra-bersih dan ketulenan tinggi dikenali di peringkat antarabangsa sebagai bahan kimia proses, juga dikenali sebagai bahan kimia basah, dan merupakan salah satu bahan kimia asas utama dalam proses pengeluaran litar bersepadu (IC) dan litar bersepadu berskala sangat besar (VLSI) .Ia juga digunakan untuk membersihkan dan mengetsa permukaan wafer silikon.Ketulenan dan kebersihan reagen ultra-bersih dan ketulenan tinggi mempunyai kesan yang sangat penting ke atas hasil, sifat elektrik dan kebolehpercayaan litar bersepadu.Terdapat banyak jenis bahan kimia gred elektronik dan keperluan teknikal yang tinggi.Ia berdasarkan pembangunan teknologi mikroelektronik.Dengan perkembangan teknologi mikroelektronik, ia berkembang secara serentak atau mendahului masa.Pada masa yang sama, ia menyekat pembangunan teknologi mikroelektronik.